ミタニマイクロニクス株式会社

一　般

透明導電膜（ITO）

透明でありながら電力を通す膜。抵抗率が低いために透明電導膜として最も用いられているのがITO（酸化インジウム・スズ）である。透明導電膜は液晶ディスプレイやタッチパネル、太陽電池などに用いられている。

LTCC

LTCCとは、低温焼成セラミックス（LTCC：Low Temperature Co-fired Ceramics）の略で、アルミナとガラス化合物を混合してグリーンシート化ができるようになった。アルミナを高温で焼成させるセラミックスはHTCCと呼ばれ、導体にはWやMoが使用されていたが導体抵抗が高抵抗であった。一方、LTCCは1,000℃以下の温度帯での焼成が可能となり、導体にAgやCuを使用出来るようになった事から、導体とグリーンシートを積層して同時焼成が可能となり、基板の低抵抗及び高密度により部品の小型化が実現でき、高周波部品へのニーズが高まってきた。

レジスト

光や電子ビームなどの照射（露光）によって化学反応が起こり、現像液に対する溶解が変化する現象を利用してパターン形成される。形成されたパターンはエッチングなどのプロセスにおけるマスクとして用いられる。露光された部分が、現像処理により除去されるものをポジ型、残留するものをネガ型と称する。レジスト膜にパターン形成する過程がリソグラフィーである。

リソグラフィー

本来は集積回路の回路パターンを作製する技術の事。広義には写真技術を用いて材料表面上に微細パターンを作製する技術全般をさす。微細なバイオセンサーやバイオチップ作製に使われている。

パワーデバイス

電圧・電流・周波数を変換・制御するための一群の半導体素子。

プリント基板

絶縁基板上に、導電性の配線パターンをめっきやエッチングなどの化学的手法、もしくは導電性ペーストによって配線を形成した板のこと。電子部品・集積回路などを搭載する場合が多い。